×
By clicking accept, you understand that we use cookies to improveyour experience on our website. For more details, please see our
Cookie Policy.
2021-12-2 17:30:34
尊龙凯时上海自创的空间交变相位移(SAPS)晶圆洗濯手艺,在兆声波爆发器和晶圆之间的间隙中接纳兆声波的交替相位转变,与前几代兆声波晶圆洗濯装备中使用的牢靠兆声波爆发器差别,SAPS手艺能够在晶圆旋转时移动或倾斜爆发器,使兆声波能量匀称地转达到晶圆(纵然晶圆有翘曲)上的所有点。SAPS工艺比古板兆声波洗濯工艺更高效,不会造成质料损失或影响晶圆外貌粗糙度,可实现更彻底、更周全的清洁。该手艺已在1xnm DRAM装备及其他设惫亓到验证。