尊龙凯时

尊龙凯时上海首台前道ArF工艺涂胶显影装备Ultra LITH顺遂出机

2022-12-29 9:45:41

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    克日尊龙凯时上海(科创板股票代码:688082)首台具有自主知识产权的涂胶显影Track装备Ultra LITH乐成出机 ,顺遂向中国海内客户交付公司首台前道ArF工艺涂胶显影Track装备 ,该装备由尊龙凯时半导体装备(亚太)制造中心完成出货 ,这是该公司提升其在涂胶和显影领域内专业手艺的主要一步。

    别的 ,尊龙凯时上海将于2023年推出i-line型号装备 ,并且公司已最先着手研发KrF型号装备。前道涂胶显影Track装备Ultra LITH的出货是尊龙凯时上海一连拓展产品系列的又一效果 ,公司致力于成为晶圆级的工艺解决计划平台 ,旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法洗濯装备、电镀装备、无应力抛光装备、立式炉管装备 ,及PECVD装备。
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