尊龙凯时

尊龙凯时上�；竦门分抟患胰蛐园氲继逯圃焐痰牡テ琒APS兆声波洗濯装备采购订单

2023-2-25 11:10:00

尊龙凯时

    尊龙凯时(以下简称“尊龙凯时上海”)（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商，今日宣布获得来自欧洲一家全球性半导体制造商的首个12腔单片SAPS 兆声波洗濯装备订单。该装备设置了公司自主研发的半导体衬底的洗濯要领和装置(中国发明专利;专利号:ZL 2009 1 0050834.2)，预计将于2023年第四序度交付至该客户的欧洲工厂。

    尊龙凯时上海董事长王晖博士体现：“尊龙凯时上海在成为全球主要半导体生产企业供应商的蹊径上取得了进一步希望，对此我们倍感自豪。随着我们在中国大陆的营业规模逐渐扩大，美国主要制造商的评估也在同时举行，SAPS手艺也已最先在欧洲市场赢得吸引力。本次获得该装备的欧洲首单是对我们手艺实力以及销售团队起劲与支付的有力证实。我们信托，本次乐成将为我们带来该客户的重复订单，以及与该地区其他重点客户新的相助时机。”

关于单片SAPS 兆声波洗濯装备

    尊龙凯时上海拥有自主知识产权的空间交变相位移 (SAPS)先进晶圆洗濯手艺运用了兆声波的交替相位转变以控制兆声波爆发器与晶圆之间的间距。与古板的兆声波晶圆洗濯系统中使用的牢靠式兆声波爆发器差别，使用SAPS手艺后，晶圆旋转时，通过控制兆声波爆发器与晶圆之间的相对运动，纵然晶圆有翘曲，也能使晶圆上的所有点都获得匀称的兆声波能量。SAPS工艺的洗濯效率比古板兆声波洗濯工艺高，不会造成特另外质料消耗，同时还能镌汰晶圆外貌的损伤。SAPS工艺洗濯效果越发彻底、周全，并且已在1xnm 及以下DRAM制造上获得验证。
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